硅烷的着火和爆炸都是与氧气反应的结果。硅烷对氧和空气极为敏感。具有一定浓度的硅烷在- 180℃的温度下也会与氧发生爆炸反应。固体硅烷与液氧反应非常危险。硅烷燃烧时火焰呈深黄色, 在氧气充足的条件下发生反应:[2] SiH4+ 2O2=SiO2+ 2H2O ΔH= - 362 kcal/ mol 若氧气不足, 则有不完全氧化反应发生: SiH4+ O2=SiO2+ 2H2 Δ H= - 226 kcal/ mol 燃烧产生的高温还使部分未反应的硅烷发生热分解反应: SiH4 =Si+ 2H2 ΔH= - 8. 2 kcal/ mol 有毒性,应做泄露检测。
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